近日，溫州先鋒閥門有限公司自主研發的“HGU高性能半導體用球閥”獲得國家實用新型專利授權(專利號:ZL202422218105.6)。該產品專為半導體制造等高真空應用場景設計，在結構設計、密封性能與國產適配性等方面取得關鍵突破，為實現核心工藝環節的國產替代提供了有力支撐。
長期以來，高真空閥門領域主要由歐美日等國外企業主導。HGU球閥的推出，標志著國內企業在關鍵部件性能上取得實質進展。產品支持DN63至DN100口徑，兼容GB4892/IS0-KF與GB6070/S0-F等多種連接標準，適配各類國產半導體設備，具備良好的集成性。根據企業方面提供的數據，產品在交付周期上可比進口產品縮短30%，整體成本降低約60%，并在長三角、珠三角等產業集聚區提供最快48小時現場響應服務，大幅提升本土供應效率。 |